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真空泵与真空系统设计制造商

nEXT400涡轮分子泵

技术参数单位nEXT400
入口法兰"DN160 ISO-K or DN160CF
入口抽速l/s400
压缩比(D or T)">1×1011
中间级抽速l/s13
排气口/中间级接口/增压口"NW25
放气/吹扫口"1/8"BSPP
临界前级压力mbar9.5
最大连续入口流量(水冷)sccm105
最高允许入口法兰烘烤温度(仅CF、水冷)120
最大允许连续前级压力(水冷)mbar7.5
前级泵推荐"RV12/nXDS10i
额定转速rpm60000
到90%速度的启动时间D(T)s180(210)
噪音dB(A)<45±3
重量D(T)ISOKg6.5(6.8)
重量D(T)CF9.5(9.8)

nEXT400涡轮分子泵.png

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